英特尔工厂车间
英特尔工厂车间
工作人间不能直接的接触晶圆片,而是要放在一个叫“lot”的黑色方盒子中,每个盒子能放25张晶圆片。在Intel工厂中,lot采用的是铝材料做金属层,并且为黑色,晶圆片采用的铜做材料,为橙色。
从一个无尘房间到另一个无尘房间,lot都是按照预定轨迹自动的被传送。注意大约天花板的高度,那个轨迹就是用来传送lot的。在某些条件下,lot是被直接的输送到相应的机器当中,不需要人工的干预。在每台机器上都有一个屏幕,方面技术人员观察目前机器工作情况以及晶圆片处理到了哪种程度上。
房顶上的运输机
英特尔工厂车间加拿大华人网 http://www.sinoca.com/